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液體氣體混合配比器 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量；質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。 它們在半導體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。其典型的應用場合包括； 電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等

氣體溫度控制儀 氣體環(huán)境模擬主要用于環(huán)境氣體模擬配比 燃料電池氣體加濕 材料表面改性 濕度氣敏材料電學信號測試

氣體流量計選型主要用于環(huán)境氣體模擬配比燃料電池氣體加濕材料表面改性濕度氣敏材料電學信號測試系統(tǒng)可耐0.6MPa 設備通過飽和蒸汽和干空氣按比例混合氣體輸出出氣口無冷凝水可為氣體分析儀燃料電池氣敏測試腔供氣